MEMS-ийн мульти дисциплин чанар. Микро инженерчлэлийн үндсэн материалуудын судалгаа. Янз бүрийн салбар дахь MEMS-ийн хэрэглээ. Микросистемийн ажиллах зарчим - бичил хөдөлгүүрийн техник - микро мэдрэгч - микропрактуатор - микропроцессор - бичил микрометр - -микро хавхлага - бичил микроскоп. Бичил үйлдвэрлэл - гадаргуугийн микро машин - LIGA - SLIGA - бичил системийн пакежинг.